特点
● 内置质量流量控制器和读取单元的小型手持式质量流量控制装置。
● 触控面板式，可轻松操作全刻度设定、流量设定、阀门开闭等。
● 空气用※可另行定制用于其他流体(Ar、CO2、H2、He、N2、O2等)
规格
● 传感器方式：热式传感器
● 适用流体：空气用※如有特殊需求，也可制作其他流体(Ar、CO2、H2、He、N2、O2等)
● 阀门方式：比例电磁阀(断电时关闭)
● 控制/测量范围：2～100%F.S
● 流量精度：±1.0%F.S.(25℃)
● 耐压：980KPA(G)
● 接触气体部材质：SUS316、FKM
● 连接口径：1/4卡套式接头(※其他接头请咨询。)
● 电源：AC85～264V48～440Hz