特点
● 内置高端质量流量计和读取单元的小型手持式质量流量测量装置，支持F.S.1SCCM微流量。
● 触控面板式，可轻松操作。
● 空气用※可另行定制用于其他流体(Ar、CO2、H2、He、N2、O2等)
规格
● 传感器类型：热式传感器
● 适用流体：空气※如有特殊需求，可定制其他流体(氩气、二氧化碳、氢气、氦气、氮气、氧气等)
● 流量精度：±1.0%F.S.(20℃)
● 耐压：980KPA(表压)
● 接触气体部件材质：SUS316L、氟橡胶等
● 连接口径：1/4卡套管接头(※其他接头可咨询)
● 电源：AC85～264V48～440Hz